镜片，输出耦合器和镜头
图1：157nm的激光镜（AOI = 0°，a）和转向镜（AOI = 45°，b）的测量反射率和透射光谱
Ø•激光镜：AO = 0°时R = 92 ... 95％
Ø•转向镜（AOI = 45°）：
Øo卢比> 97％
Øo Rp> 90％
Øo Rr> 92％
Ø•高品质的镜面基板，窗户和CaF2透镜（157nm准分子级质量，SCHOTT AG）
Ø•具有公差的PR涂层
Ø对于R = 10 ... 30％，±2％
Ø对于R = 30 ... 75％，o±3％
Øo±2％，R = 75 ... 90％
Ø•根据要求开发和生产客户特定部件作为分束器和可变衰减器
图2：R = 50±3％，R = 25±2％（背面未涂布）的标准输出耦合器的测量反射光谱
Variable Attenuators
可变衰减器
图3：不同AOI（a）和透射率与AOI（b）的可变衰减器的测量透射光谱;
在AOI = 0°时，透射率从T> 75％变化到AOI = 45°时的T <5％
F2激光铝镜
图4：受保护的Al镜（a）的反射光谱和157nm的增强型Al镜（b）
受保护的铝镜（针对157nm进行了优化）：R = 74 ... 78％
电介质增强型铝镜：AOI = 0°时R = 94％
有关Al镜的更多信息，请参阅我们的目录中的第96 - 97页。
标准F2激光元件的技术参数
Coating | Spectral performance | Lifetime test |
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HR (0°, 157nm) | R = 92 ... 95 % | 2 x 108 – 1 x 109 pulses* |
HR (45°, 157nm) | R = 90 ... 94 % (random pol.) |
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PR (0°, 157nm) | R = 50 ± 3 % | 2 x 108 – 1 x 109 pulses* |
PR (0°, 157nm) | R = 25 ± 3 % | 2 x 108 – 1 x 109 pulses* |
Attenuator | T = 67 ± 3 % | 5 x 107 pulses**, no damage |
Attenuator | T = 33 ± 3 % | 1 x 108 pulses***, no damage |
Beam splitter | T = 20 ± 3 % | 1 x 108 pulses***, no damage |
AR (0°, 157nm) | 0.3 ... 0.7 % |
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*能量密度：25mJ / cm2，重复频率：800Hz，脉冲持续时间：15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG进行测试
**能量密度：15mJ / cm 2， 速率：200Hz，脉冲持续时间：20ns; 在光电技术研究所（IPHT）耶拿研究所进行测试
***能量密度：20 mJ / cm2， 速率：50Hz，脉冲持续时间：20ns; 在光电技术研究所（IPHT）耶拿研究所进行测试
反射镜，输出耦合器和镜头
图1：随机的193nm的转向镜（AOI = 45°）的测量反射率和透射光谱
偏振光（a）和两面用氟化AR涂层涂覆193nm的CaF 2窗（b）
•所有氟化物系统都能保证高反射率和高损伤阈值
•PR涂层，公差为：
对于R = 10 ... 30％，±2％
对于R = 30 ... 75％，±±3％
对于R = 75 ... 90％，±±2％
o±1％，R> 90％
•高品质的镜面基板，窗口和CaF2（193nm准分子级，肖特公司）镜头和熔融石英
•根据要求开发和生产客户特定的组件，如分束器和可变衰减器
•在AOI = 0°时残余反射率R <0.25％，AOI = 45°时R <0.6％的单波长AR涂层（非偏振光）
•宽带和多波长AR涂层
可变衰减器
图2：不同AOI（a）和透射率与AOI（b）的可变衰减器的测量透射光谱;
在AOI = 0°时，透射率从T> 88％变化到AOI = 45°时的T <2％
•根据要求具有不同传输范围的衰减器
•衰减器可以交付熔融石英的CaF2的AR涂层补偿板
铝反射镜
图3：针对193nm（a）优化的受保护的Al镜的测量反射光谱
和193nm的增强型Al镜，AOI = 45°（b）
增强铝镜： | Rp > 93% |
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For more information on Al mirrors see pages 96 – 97 in our catalog. | |
标准ArF激光元件的技术参数
Coating | Substrate | Damage threshold* | Lifetime test |
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Fluoride coatings |
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AR (0°, 193nm) R < 0.25% | CaF2 | 4 – 5 J/cm2 | 2.5 x 108 pulses, no damage** |
AR (0°, 193nm) R < 0.25% | fused silica | 2 – 3 J/cm2 |
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PR (0°, 193nm) R = 25% | CaF2 | 3 – 4 J/cm2 | 2.5 x 108 pulses, no damage** |
PR (0°, 193nm) R = 50% | CaF2 | 2 – 3 J/cm2 | 109 pulses*** |
HR (0°, 193nm) R > 96% | CaF2 | 2 – 3 J/cm2 | 109 pulses***, no damage |
HR (45°, 193nm) R > 95% (random polarized) | CaF2 | 2 – 3 J/cm2 |
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Oxide coatings |
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HR (0°, 193nm) R>92% | fused silica | <1 J/cm2 |
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1）1000 - on -1,14 ns; 在Laser LaborGöttingen和Friedrich-Schiller - Jena大学进行了测量
2）能量密度：18mJ / cm 2，重复频率：4kHz，脉冲持续时间：30ns; 在哥德根的COHERENT AG进行测试
3）能量密度：55mJ / cm 2，重复率：1kHZ，脉冲持续时间15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG进行测试
4）能量密度：27mJ / cm 2，重复频率：4kHz，脉冲持续时间：30ns; 在哥德根的COHERENT AG进行测试
5）能量密度：80mJ / cm 2，重复频率：1kHz，脉冲持续时间：12ns; 在慕尼黑的COHERENT AG进行测试
Mirrors and Partial Reflectors
•HR空腔和转向镜，AOI = 0°时R> 99.9％，对于s-和p-偏振光，AOI = 45°
•典型反射率：R> 99.95％
•对于特殊要求，我们保证R> 99.99％（带腔环测量的交货）
•光谱带宽约70 nm，1 - 1 LIDT> 50 MW / cm2（cw）和> 50J / cm2（10 ns）
图1：具有不同程度的反射率的高功率腔镜（a）和输出耦合器的反射光谱（b）
光束分离器和输出耦合器具有调节的反射率
Reflectance | Tolerance |
R > 95% | ± 0.5% |
R = 80 ... 95% | ± 1% |
R = 10 ... 80% | ± 2% |
•泵镜HR（0°，1064 nm）> 99.9％+ R（0°，808 nm）<2％
•分束器，光束组合器和扫描镜
•Nd：YAG / Nd：YVO4激光器的谐波光学在这里和这里（也在我们的目录中的第40-45页）
图2：s - ，p - 和随机极化的导向反射镜HR（1064 nm）+ PR（630 - 670 nm）的反射光谱
在AOI = 45°（a）和不同AOI处的随机极化（用作扫描镜）（b）
薄膜偏光镜
•光的s和p偏振分量的分离（s偏振光被反射并且p偏振光被透射）
•可以为AOI> 40°生产TFP，但是如果使用AOI≈55°（布鲁斯特角），则极化有效，出现在宽波长范围
•典型偏振比：AOI = 45°或55°时，Tp / Ts> 500
•具有Tp / Ts10000的极化比的特殊设计是可能的
•高激光损伤阈值（对腔内应用有用）
•通过改进的空腔环形设置可以高精度地测量用于p偏振光的薄膜偏振器的透射
图3：对于s和p偏振光，AOI = 55°（布鲁斯特角）的标准TFP的反射光谱
非极化光束分离器
•对于AOI = 45°的Rs?Rp（| Rs-Rp | <1.5％）和不同程度的反射率的分束器
•常见的类型：
o Rs，p = 66±1％
o Rs，p = 50±2％
o Rs，p = 33±3％
•所有非极化分束器，后侧AR（Rs?Rp≤0.6％）
图4：3种非极化光束分离器的反射光谱（AOI = 45°）
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