质量控制

质量控制

LAYERTEC大力保证当前和未来产品的质量。

我们的测量设备用于监督基材和镀膜生产。

例如我们定期测量

•表面形式

•表面粗糙度/整理质量

•光谱透射和反射率

•光谱相和GDD（如果适用）

•使用带OPO光源的宽带腔衰减设置，在宽波长范围内实现反射率测量

•某些波长和脉冲长度的损伤阈值测量

精密光学测量工具

LAYERTEC的精密光学设备配有用于平面和球面曲面的干涉仪。具有λ/ 20（633nm）平坦度的平面衬底和形式公差为λ/ 10（633nm）的球形衬底可以提供干涉测量方案。

LAYERTEC还采用高性能Fizeau干涉仪和Twyman-Green干涉仪，在以下测量范围内对大光学元件进行形状公差测量：

平面：

•大∅= 300mm

•测量精度：λ/ 100（546nm）的平坦度

球面：

•高∅= 500mm，a

•测量精度：λ/ 50（546nm）的形状公差

原子力显微镜（AFM）是一种有用的仪器，用于表征平均厚度小于5埃的非常光滑的表面。 LAYERTEC有一个AFM来控制特殊的抛光过程，并根据要求提供检验协议。

镀膜测量工具

LAYERTEC的检测程序包括在120nm和20μm之间的波长范围内的涂覆光学器件的分光光度测量。使用PERKIN ELMER分光光度计Lambda950®，Lambda750®和Lambda19®进行190nm3200nm波长范围内的标准分光光度测量。对于超出该波长范围的测量，LAYERTEC配备了FTIR光谱仪（λ=1μm...20μm）和VUV光谱仪（λ= 120nm ... 240nm）。

通过腔衰减时间光谱测量R = 99.9 ... 99.9995％的高反射率。实际上LAYERTEC配有各种CRDS测量系统，可用于355nm1064nm的波长范围。此外，还提供了一种新颖的宽带CRDS设置，可以提供在220nm和2300nm之间的范围内的低损耗反射镜的反射率的测量。

LAYERTEC配备了具有ns脉冲的266nm，355nm，532nm和1064nm的LIDT测量设置。

Fraunhofer研究所IOF Jena和激光中兴汉诺威公司也与光电技术研究所（Jena）合作，测量光学薄膜和散装材料的吸收和散射损耗以及激光损伤阈值测量。

Fizeau Interferometer (SOLITON MiniFIZ 300)

Interferometer (OptoTech®)

Atomic Force Microscope (DI Nanoscope®)

Spectrophotometer

Cavity Ring-Down Setup

GDD-Measurement Setup