标准组件
高品质的镜面基板，玻璃和石英玻璃
具有公差的PR涂层
Ø对于R = 10 ... 30％，±2％
Ø对于R = 30 ... 75％，±±3％
Ø对于R = 75 ... 90％，±±2％
Øo±1％，R> 90％
Ø•开发和生产客户特定的组件
图2：不同AOI（a）下308nm可变衰减器的透射光谱和308nm处透射率与AOI（b）的关系。
在AOI = 0°时，透射率从T> 85％变化到在AOI = 45°时T = 2±1％（非偏振光）
耐氟腔光学
图3：氟化KrF激光镜（a）和R = 50±3％的输出耦合器（b）的反射光谱
•氟化物涂层和CaF2基材，对氟和氯具有较高的稳定性
•激光镜（在248nm和308nm处为> 98％，在351nm下R> 96％）
•高品质的镜面基板，窗户和CaF2透镜（248nm准分子级或紫外线质量，肖特公司）
•具有公差的PR涂层
对于R = 10 ... 30％，±2％
对于R = 30 ... 75％，o±3％
o±2％，R = 75 ...> 90％
KrF，XeCl和XeF激光组件的技术参数
Coating | Materials | Reflectance | Damage threshold* | Lifetime test |
HR (0°, 248nm) | oxides | > 99% | 10 J/cm2, 1 - on - 1,20ns 5 J/cm2, 1000 - on - 1 |
|
HR (45°, 248nm) | oxides | > 99% (random pol.) | 10 J/cm2, 1 - on - 1,20ns |
|
HR (0°, 248nm) | fluorides | R > 98% |
| 2x108 pulses** |
PR (0°, 248nm) | fluorides | R = 50 ± 3% |
| 2x108 pulses** |
PR (0°, 248nm) | fluorides | R < 0.25% |
| 2x108 pulses** |
HR (0°, 308nm) | fluorides | R > 98% |
| 2x108 pulses*** |
HR (0°, 351nm) | fluorides | R > 96% |
| 2x108 pulses*** |
PR (0°, 351nm) | fluorides | R = 25 ± 3% |
| 2x108 pulses*** |
*在Laser LaborGöttingen和Friedrich-SchillerUniversitätJena进行了测量
**能量密度：100mJ / cm 2， 速率：100Hz，脉冲持续时间：15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG进行测试
***能量密度：55 mJ / cm2， 速率：100Hz，脉冲持续时间：15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG进行测试
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